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●移動方向: X・Y軸2方向
●移動量: ±100mm
●ステージ面: 200mm×200mm
●使用モータ: PK545-B相当(5線式ペンタゴン結線)
●分解能: 0.004mm
●送りねじリード: 2mm
●移動ガイド: ボールウェイ
●真直度: 0.02mm(水平・垂直)
●位置決め精度: 0.08mm
●繰り返し精度: ±0.002mm
●ロストモーション: 0.002mm
●モーメント剛性: ヨー剛性 0.04sec/N・cm ピッチ剛性 0.04sec/N・cm ロール剛性 0.04sec/N・cm
●耐荷重: 392N(40kgf)
●質量: 18kg
●最高速度(5000pps時): 20mm/sec
●材質: アルミ合金
●XY直交度: 0.04mm
●原点センサ(動作論理): N.O.(ノーマ
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